【真空破壊バルブ不要】
正圧のない真空離脱により、極小チップが吹き飛ばされるのを防止する措置は必要ない。
破壊圧力、流量、タイミングを煩雑に調整する必要はありません。
真空破壊弁を使用せず、簡素化を実現した。

【占有スペース最小化】
従来のテープ破壊ユニットに比べて設置面積が44%、重量が53%減少し、製造装置の小型化に最も適している。
極小空間でも設置可能であり、装置設計の自由度が高い。
軽量化により、装置可動部への取り付けが容易になる。

【圧力センサ搭載可能】
ユニットには真空用圧力センサが搭載されており、よりコンパクトな形状となっている。
負圧検出も省スペースを実現します。
U字型カードピン固定圧力センサーを採用し、メンテナンス性を向上させる。

【真空用フィルター装着可能】
配管中にフィルターを取り付ける必要はありません。
真空用フィルタはプラグ方式で交換する。